HALO 201 MBE 分子束外延殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀用于泄漏探測(cè)、趨勢(shì)分析、真空診斷的過(guò)程監(jiān)測(cè)和殘余氣體的精確分析。
該分子束外延特定分析質(zhì)譜儀由兼容性材料組成，并能在分子束外延環(huán)境中長(zhǎng)期使用。
·鉬銅布線增加MBE環(huán)境下系統(tǒng)的壽命
·抗污染離子源護(hù)罩
·雙法拉第/ channelplate電子倍增器
·質(zhì)量數(shù)范圍： 1～300 amu
·掃描速度： 100amu/s
·最小掃描步階：0.01amu
·靈敏度： 0.1 ppm～1ppm
·穩(wěn)定性： 24h以上，峰高變化小于±0.5%
·最小檢測(cè)分壓：2 x 10-13 mbar
·工作壓力：1 x 10-4 mbar
Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)
