英國Hiden公司的RGA Series殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀(Residual Gas Analysers)，用于真空診斷和工藝工程的精確分析。
RGA Series殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀包括HAL RGA ，3F Series RGA和3F-PIC三種規(guī)格水平。
·PPM靈敏度
·通過RS232、USB或Ethernet連接計(jì)算機(jī)，MASsoft專業(yè)軟件控制
·快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰
·混合模式掃描－多個(gè)windows窗口顯示信息，例如趨勢、柱狀圖和信號峰
·同步顯示數(shù)據(jù)圖，列表
·同步背景扣除，自動(dòng)質(zhì)量數(shù)列表
·數(shù)據(jù)輸出為ASCII格式，至windows設(shè)備
·即時(shí)動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)交換至其他DDE兼容的windows軟件，例如 Excel、SPC-IV統(tǒng)計(jì)過程控制軟件等
·質(zhì)量數(shù)范圍： 200，300 amu
·掃描速度： 100amu/s
·最小掃描步階：0.01amu
·靈敏度： 0.1 ppm～1ppm
·穩(wěn)定性： 24h以上，峰高變化小于±0.5%
Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)
