適用于4"&5"&6"&8"晶圓

操作簡(jiǎn)便

貼膜質(zhì)量

沒(méi)有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）

每小時(shí)產(chǎn)能

≥ 75片晶圓

更換產(chǎn)品時(shí)間

≤ 5分鐘

晶圓厚度

200 ~750微米

晶圓種類

硅, 砷化鎵或其它材料

單邊, V型缺口

膜種類

藍(lán)膜或者UV膜

寬度：300~400毫米

長(zhǎng)度：100米

厚度：0.05~0.2毫米

晶圓承載環(huán)

8"DISCO 或者 K&S 標(biāo)準(zhǔn)

12"DISCO 或者 K&S 標(biāo)準(zhǔn)

客戶制定標(biāo)準(zhǔn)

貼膜原理

防靜電滾輪貼膜

晶圓臺(tái)盤(pán)

可更換式防靜電涂層接觸式臺(tái)盤(pán)（8“和12"之間互換）

或硅膠臺(tái)盤(pán)；或多孔金屬臺(tái)盤(pán)；或陶瓷臺(tái)盤(pán)

裝卸方式

晶圓/承載環(huán)手動(dòng)放置與取出

防靜電控制

防靜電涂層晶圓臺(tái)盤(pán)/防靜電貼膜滾輪/防靜電離子發(fā)生器裝置

切割系統(tǒng)

手動(dòng)軌跡式圓切刀和直切刀

晶圓定位

通用標(biāo)線／彈簧定位銷

控制單元

基于PLC 控制，帶5.7"觸摸屏

安全防護(hù)

配置緊急停機(jī)按鈕

電源電壓

單相交流電220V,10A

壓縮空氣

5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2立方英尺

機(jī)器外殼

白色噴塑金屬外殼

體積

670毫米(寬)*1110毫米(深)*880毫米(高)

凈重

100公斤